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| 耦合状态等离子体高频电源特性 | |
| 作者姓名： | 谭凯 曹琪 杜凯 |
| 作者单位： | 哈尔滨学院理工学院,黑龙江,哈尔滨,150086 |
| 基金项目： | 黑龙江省教育厅科学技术研究项目 |
| 摘 要： | 根据实验,观察耦合状态等离子体高频电源的工作特性,讨论了在装置中形成的等离子体,对装置的反作用与装置固有条件的综合效果,制约着等离子体的行为和量子效应。 |
| 关 键 词： | 射频等离子体 高频等离子体电源 飞行时间谱仪 射频催化 虚拟非对称晶格 |
| 文章编号： | 1004-8499（2006）02-0178-02 |
| 收稿时间： | 2005-11-09 |
| 修稿时间： | 2005-11-09 |
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