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| 集成门极换流晶闸管的工艺模拟 | |
| 引用本文： | 吴琳,宋恺.集成门极换流晶闸管的工艺模拟[J].大众科技,2010(4):13-13,16. |
| 作者姓名： | 吴琳 宋恺 |
| 作者单位： | 辽宁广播电视大学,辽宁,沈阳,110034 |
| 摘 要： | 主要介绍利用silvaco软件对集成门集换流晶闸管IGCT(Inregrated Gate Commutated Thyrister)进行工艺模拟。利用silvaco软件中的Athena对IGCT进行建模,并对工艺参数进行提取和优化,从而达到工艺要求。 |
| 关 键 词： | silvaco 集成门集换流晶闸管 工艺模拟 |
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