以生为本的高校微电子器件教学研究

《微电子器件》是电子信息与工程技术专业的重要基础课程。其课程内容涉及微电子器件的实际结构、刻蚀技术、镀膜技术、封装技术以及过程检测技术等。本课程具有内容丰富、实践性和应用性强等特点,学生普遍感觉学习难度大。针对微电子工艺基础课程教学的自身特点和多年的MEMS器件加工经验,本文从苏州科技学院的实际情况出发,以中科院苏州纳米所加工平台为教学实习基地,建立了理论授课、微纳加工工艺培训、参与微项目研究以及完善有效的实验考核方案相结合的特色教学方式。教学研究表明,通过改革可以激发学生的学习兴趣和培养学生的实践创新能力和科学研究能力,提高了教学效果。