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| 多晶硅生产中金属冷却器E0511abcd流程的技术改进 | |
| 引用本文： | 边维年.多晶硅生产中金属冷却器E0511abcd流程的技术改进[J].青海科技,2011(5):12-15. |
| 作者姓名： | 边维年 |
| 作者单位： | 亚洲硅业（青海）有限公司,青海西宁,810007 |
| 摘 要： | 本文结合生产实际，介绍了闭环式三氯氢硅还原法的工艺流程和金属冷却器的作用，重点对亚洲硅业（青海）有限公司多晶硅生产中金属冷却器流程的改进、设备材料的选择及技改前后的经济核算进行了阐述。 |
| 关 键 词： | 金属冷却器 附着氯化物 处理方法 氯硅烷 物料性质 设备选材 |
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