|
|||||
|
|
| 基于OrCAD10.5的直流磁控溅射电源的仿真分析 | |
| 引用本文： | 杜武吉,胥科,朱明,曾旭初.基于OrCAD10.5的直流磁控溅射电源的仿真分析[J].中国科技信息,2010(2):110-110,113. |
| 作者姓名： | 杜武吉 胥科 朱明 曾旭初 |
| 作者单位： | 核工业西南物理研究院,610041;成都普斯特电气有限责任公司,610041 |
| 摘 要： | 简单介绍了OrCAD10.5软件,并介绍了基于此软件的直流磁控溅射电源的仿真,给出了仿真波形,并与实际波形作了对比分析。 |
| 关 键 词： | OrCAD10.5 直流磁控溅射电源 仿真 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |