换能器间距对柔性声表面波器件性能的影响

首先基于PEI基板磁控溅射ZnO薄膜，再在薄膜上的两端制备叉指电极，探讨了不同的叉指间距对这种柔性器件的影响。研究发现，当两个叉指式换能器(IDT)之间的距离增加时，谐振器的传输幅度会显著衰减。为了制造具有良好传输性能的器件，IDT之间的间距应小于声波波长的40倍。这些结果可以为柔性声波器件的发展提供参考。