| 用Lloyd干涉测量薄膜的厚度和折射率 |
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| 引用本文： | 顾永健,邢进华. 用Lloyd干涉测量薄膜的厚度和折射率[J]. 常熟理工学院学报, 2006, 20(6): 30-35 |
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| 作者姓名： | 顾永健 邢进华 |
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| 作者单位： | 1. 苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;苏州工业园区第六中学,江苏,苏州,215126
2. 常熟理工学院,物理与电子科学系,江苏,常熟,215500 |
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| 摘 要： | 将样品分别放在Lloyd干涉装置的两个不同位置进行薄膜厚度和折射率的测量是一种简单易行的方法。这种方法与其它方法的区别在于只需通过分析干涉条纹就能确定薄膜的厚度和折射率,这就避免了测量能量的误差,消除光源不稳定和外界对光强的影响。通过对两种不同厚度聚合物薄膜样品的测量,证实了这种方法是有效的,厚度测量误差为2%,折射率的误差为±0.002。
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| 关 键 词： | 干涉 薄膜 折射率 厚度 |
| 文章编号： | 1008-2794（2006）06-0030-06 |
| 收稿时间： | 2006-06-27 |
| 修稿时间： | 2006-06-27 |
Refractive Index and Thickness measurements of Thin-films Using Lloyd''''s Interferometer |
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| GU Yong-jian,XING Jin-hua. Refractive Index and Thickness measurements of Thin-films Using Lloyd''''s Interferometer[J]. Journal of Changshu Institute of Technology, 2006, 20(6): 30-35 |
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| Authors: | GU Yong-jian XING Jin-hua |
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| Keywords: | Interference Thin films Refractive index Thickness |
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