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| 微系统技术 | |
| 作者姓名： | 封松林 王渭源 王跃林 祝向荣 |
| 作者单位： | 中科院上海微系统与信息技术研究所 |
| 摘 要： | 微系统(Micro System)也称微机电系统(MEMS)或微机械加工(Micro Mechining)是指集成了微电子和微机械的系统，或除此外还将微光学，化学、生物等其他微元件集成在一起的系统(集成微光机电生化系统)。微系统不用传统的加工方式制造，而是以批量化的微电子制造技术为基础，加上特有的三维加工技术，并与IC集成在一起，组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的完整信息系统。这一思想无论是科学意义还是经济效益都是重大的。微系统技术的发展为解决未来信息系统的微型化问题提供了一条有效途径。 |
| 关 键 词： | 微系统技术 微机电系统（MEMS） 电子制造技术 信息系统 微机械加工 生化系统 加工方式 加工技术 信息获取 经济效益 科学意义 集成 微电子 微光学 光机电 微型化 元件 量化 IC |
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