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| CoSiN薄膜的制备 | |
| 引用本文： | 张在玉,陈秀华,冯春杰.CoSiN薄膜的制备[J].安顺学院学报,2013(4):115-116,129. |
| 作者姓名： | 张在玉 陈秀华 冯春杰 |
| 作者单位： | 安顺学院物理与电子科学系;云南大学材料科学与工程系 |
| 摘 要： | 文章采用磁控溅射的方法在n型硅基底上制备了CoN和SiN薄膜,再用薄膜测厚仪和四探针测试仪(EPP)测出样品的厚度及方块电阻,得到制备CoN和SiN薄膜的优化条件,然后由CoN和SiN薄膜制备出CoSiN薄膜。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 CoN和SiN薄膜 CoSiN薄膜 |
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