加科学家实现光在硅片中传播

加拿大多伦多大学的科学家最近成功开发出一种光波在硅片上的传播技术，这一技术为制造新一代光电集成电路带来了希望。     

氧化硅干法各向异性刻蚀研究

氧化硅的干法各向异性刻蚀是芯片制造中的一项关键工艺技术,集成电路的制造发展到ULSI（甚大规模集成电路）阶段,图形密度越来越高,加工线条越来越细,加工精度的要求也越来越严格。     

一种SOI硅片的制备方法

本文针对利用热微波切割法(TM-SOI)获得的SOI(Silicon On Insulator)硅片,采用HCl化学刻蚀去除SOI损伤层和减小粗糙度,获得高质量的SOI硅片。不但能够去除利用热微波切割法(TM-SOI)制备的SOI(Silicon On Insulator)层表面的损伤层、表面粗糙现象,同时能够获得极高表面平坦度的SOI硅片。     

金属线刻蚀工序光刻胶剥离工程中金属颗粒(Cu)析出案例调查及解决方案

在现今大规模集成电路制造过程中,某些Memory,LCD产品的金属线刻蚀工序,在刻蚀生成聚合物的洗净过程中容易产成金属颗粒（主要是Cu颗粒）。对其工艺流程因素,机台硬件因素,产生机理进行了调查,得出了结论,并提出了有效的解决方案。     

氩弧焊机电弧不稳定故障产生的原因分析

氩弧焊机电弧不稳定现象,会导致焊缝熔深浅、背面成型不好、夹钨、气孔等缺陷,也会导致控制系统的相关元件寿命降低,喷嘴、钨极频繁更换,针对此现象,进行分析并提出解决办法。     

知识产权投入是—种战略投资——访中微半导体设备（上海）有限公司资深知识产权总监姜银鑫

中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称中微公司）创立于2004年,是由上海市国资创投集合国际半导体界海归人员共同组成的,主要研制集成电路芯片制造用高端关键装备。中微公司的产品之一——半导体芯片刻蚀设备是一种半导体芯片生产设备,是芯片前段生产设备中的三大核心设备之一,由该公司开发的刻蚀设备属于绝缘体刻蚀设备,每年市场份额约为20亿至30亿美元。     

电子行业用高纯钨制备技术

由于钨及其合金的高熔点和室温脆性,传统凝固成型及冷加工方案难以适用,高纯钨产品基本上代表了高纯金属制造技术的尖端水平。尽管我国是钨资源大国,但目前国内仅有少数企业能够生产集成电路用高纯钨靶材等产品,本文介绍了高纯钨产品制造相关的技术和国内专利情况,对了解这一领域提供参考。     

微电子行业新型湿法清洗工艺分析

在微电子产业高速发展的时代,对微电子器件的清洁性要求越来越高。但硅片表面的污染物将对集成电路元器件的性能造成极大的影响。因此,对硅片表面进行清洗是保证器件性能及提高器件成品率必不可少的一步。本文就微电子行业新型湿法清洗工艺的应用进行分析。     

我国集成电路核心装备研发取得重大突破

9月28日，国家863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米高密度等离子体刻蚀机和大角度离子注入机”，通过科技部与北京市组织的项目验收。     

粉末冶金钨（W）电极旋锻制造过程中碎裂原因分析

在粉末冶金钨（W）电极旋锻制造过程中采样,采用显微组织分析、断口分析和成分分析方法对旋锻制造过程中的碎裂样件进行检测分析,找出导致碎裂的原因为：粉末烧结工艺不稳定导致区域烧结不足,粉末烧结坯料中存在大量聚集的孔洞和大量的非金属夹杂物。     

产业“压舱”，银川经开区走上升级之路

正近日,宁夏银川经济技术开发区(下称"银川经开区")成了"明星"。伴随着声声机械轰鸣,银川市举行了2020年重大项目集中开工推进会,405个项目总投资达2104亿元,年度计划投资542亿元,涵盖高端装备制造、生态环保、民生改善等领域。推进会的市级主会场就设在银川经开区智能终端产业园二期项目现场。这里,首批总投资281亿元的33个重点项目也已全面开工。其中,年产15吉瓦(GW)单晶硅棒及切片、中轴小镇等5个项目被列入自治区级重点项目,智能终端产业园、集成电路大硅片等10个项目被列入市级重点     

超特高压直流输电工程实现中国造

中国科学院上海微系统所SOI（绝缘硅）小组与上海宏力半导体制造有限公司研究人员密切合作,利用双方在SOI材料科学研究和集成电路制造方面的优势,在国内首次利用标准CMOS（互补金属氧化物半导体）工艺平台开发出10Gbps速率的硅光调制器芯片,该芯片可以和电路集成在同一SOI硅片上,     

绝缘膜衬底硅片大规模集成电路

目前制作大规模集成电路的方法是直接在硅片上制作半导体元件，日本三菱电机公司在这个基础上作了进一步改进：在硅片同元件之间镀了一层氧化物绝缘膜，使元件之间的相互干扰和干扰故障的危险性减少了，大大提高了元件的集成度和工作速度。现在，该公司正利用这项工艺原理，采用激光照射再结晶技术制成了更新型的绝缘膜衬底硅片大规模集成电路，集成密度比过去提高了11倍。     

钨极氩弧焊打底CO2焊盖面技术在压力管道焊接中的应用

管道接头焊接在石油化工设备、管道的检修以及压力容器、压力管道制造安装中的应用相当广泛,时技术的要求也比较高.钨极氩弧焊打底CO2焊盖面技术在这方面具有很多优势.     

硅片，再见!

硅片制造业并非是一个经常占据头版头条新闻的工业。其世界销售量并不大——去年大约为22亿美元。硅片制造技术是贝尔电话实验室于20世纪50年代首先研制成功，时至今日该技术已处于成熟期。但是，在今年春天Monsanto公司却将其硅片分公司卖给了一家西德公司，这样一来，硅片制造业便加入到由美国公司所开创其后又被抛弃的一些工业的队伍之中。     

白钨精矿与黑白钨混合矿碱分解的方法与设备

引言NaOH分解法为钨冶金中分解黑钨精矿的常用方法,它具有工艺简单,分解率高等特点。但在通常条件下,由于NaOH与白钨矿(CaWO_4)难以反应,因此过去国内外学者都认为在工业条件下用NaOH法处理白钨精矿是不可能的,即使对黑钨精矿而言,也要求其中混杂的白钨矿相当少(Ca<1.0%),才能有好的分解效果,因而不得不要求选矿工作者将两者仔细分选,并要求用不同的工艺分别处理。我国过去主要是处理黑钨精矿,因此现有企业的流程和设备主要适用于黑钨精矿的碱分解法。     

缺乏核心技术困扰我国信息产业的发展和国家安全

核心技术相差太远 在信息产业发展中软件是大脑,集成电路是心脏。有专家预测,我国在大脑和心脏的最核心的技术方面与国外相差至少30年,比如,美国最先进的集成电路生产线已开始采用12英十硅片、0.13微米芯片的工艺技术。而我国目前仍以5-6英     

钨精矿中锡量的快速测定

本文研究了碘量法测定钨精矿中的锡含量,提出对钨精矿试样的分解、干扰元素钨的分离、分析结果对照、方法的准确度作了考察研究,其方法准确可行。     

浅谈牛乳中抗生素残留量检测及控制

牛乳是大家所熟悉的食品,牛乳中含有人体生长发育及代谢所必须的全部营养成分,也是最利于人体消化吸收的食品,因此被称为最接近完善的食品。饮用牛乳能促进生长发育、改善胃肠道功能、增进免疫调节、延缓衰老。牛乳因此成为人们尤其是婴幼儿的主要营养食品。在奶牛生产中使用抗生素,就会在一段时间内造成乳及乳制品中残留有抗生素,含有抗生素残留的牛乳被称为“有抗乳”,而与之相对应不含抗生素残留的牛乳,则被称为“无抗乳”。人长期饮用或食用抗生素残留     

超纯水处理

1超纯水在电子及半导体工业的运用 超纯水在半导体集成电路的生产中,用来冲洗经过多次化学清洗和刻蚀工序的晶片圆盘,同时也用作这些步骤中所使用的调配溶剂.